電子產(chǎn)品失效分析檢測常用技巧要知曉
日期:2021-09-09 13:26:00 瀏覽量:1797 標簽: 失效分析
在進行失效分析之前,需要根據(jù)失效產(chǎn)品及其失效背景,縮小懷疑范圍,初步判斷產(chǎn)品可能的失效現(xiàn)象,選擇合適的分析技術(shù)與設(shè)備,遵循先簡單后復(fù)雜,從外到內(nèi),先面后點,從非破壞性到破壞性的原則,明確分析順序,制定有針對性的分析方案,降低失效分析成本,加快失效分析進度,提高失效分析成功率。對各種可能的原因準備相應(yīng)的處理措施。最好是創(chuàng)建故障和失效原因魚骨圖,以幫助分析。失效分析開始時制定的方案不應(yīng)該是一成不變的,隨著分析工作的展開要根據(jù)新發(fā)現(xiàn)的現(xiàn)象和分析結(jié)果及時修正失效分析方案。下面主要來講講電子產(chǎn)品常見失效分析技巧。
電子產(chǎn)品失效分析常用技巧:
1、X-Ray 無損偵測,可用于檢測
* IC封裝中的各種缺陷如層剝離、爆裂、空洞以及打線的完整性
* PCB制程中可能存在的缺陷如對齊不良或橋接
* 開路、短路或不正常連接的缺陷
* 封裝中的錫球完整性
2、SAT超聲波探傷儀/掃描超聲波顯微鏡
可對IC封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)進行非破壞性檢測, 有效檢出因水氣或熱能所造成的各種破壞如﹕
晶元面脫層
錫球、晶元或填膠中的裂縫
封裝材料內(nèi)部的氣孔
各種孔洞如晶元接合面、錫球、填膠等處的孔洞
3、SEM掃描電鏡/EDX能量彌散X光儀
可用于材料結(jié)構(gòu)分析/缺陷觀察,元素組成常規(guī)微區(qū)分析,精確測量元器件尺寸
4、三種常用漏電流路徑分析手段:EMMI微光顯微鏡/OBIRCH鐳射光束誘發(fā)阻抗值變化測試/LC 液晶熱點偵測
EMMI微光顯微鏡用于偵測ESD,Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current leakage等所造成的異常。
OBIRCH常用于芯片內(nèi)部高阻抗及低阻抗分析,線路漏電路徑分析.利用OBIRCH方法,可以有效地對電路中缺陷定位,如線條中的空洞、通孔下的空洞。通孔底部高阻區(qū)等;也能有效的檢測短路或漏電,是發(fā)光顯微技術(shù)的有力補充。
LC可偵測因ESD,EOS應(yīng)力破壞導(dǎo)致芯片失效的具體位置。
5、Probe Station 探針臺/Probing Test探針測試,可用來直接觀測IC內(nèi)部信號
6、ESD/Latch-up靜電放電/閂鎖效用測試
7、FIB做電路修改
FIB聚焦離子束可直接對金屬線做切斷、連接或跳線處理. 相對于再次流片驗證, 先用FIB工具來驗證線路設(shè)計的修改, 在時效和成本上具有非常明顯的優(yōu)勢。
總結(jié),根據(jù)觀察得到的失效處形貌、芯片內(nèi)的位置、化學(xué)組份、物理結(jié)構(gòu)和特性,結(jié)合器件失效背景、失效模式、材料、設(shè)計版圖、制造工藝和失效分析經(jīng)驗,判斷可能導(dǎo)致失效的原因。根據(jù)各個可能原因的概率大小,逐個分析確認,在一定的數(shù)據(jù)、技術(shù)和試驗的基礎(chǔ)上,確定問題的根源。最后推斷出造成該失效現(xiàn)象的模型,提出失效模式對應(yīng)的機理。