半導(dǎo)體組件參數(shù)分析

描述： 利用SMU(Source measurement unit)供應(yīng)電壓或電流，驗(yàn)證與量測(cè)半導(dǎo)體組件特性(Diode I-V Curve、MOSFET特性曲線等)。如電容-電壓特性曲線、電壓-電流(IV)、電阻、電容、電感值量測(cè)或信號(hào)波形等，藉此了解組件的故障行為，以利后續(xù)的分析動(dòng)作。

檢測(cè)設(shè)備能力：

Keysight B1500A：最多4 Channels、最高電壓200 V、最大限流1A，功率為20W。

1、可在0.1 fA-1 A /0.5 μV - 200 V范圍內(nèi)進(jìn)行精確的電流-電壓（IV）測(cè)量，支持點(diǎn)測(cè)量、掃描測(cè)量、采樣和脈沖測(cè)量；

2、在1 kHz至5 MHz頻率范圍內(nèi)進(jìn)行交流電容測(cè)量，支持準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測(cè)量；

3、可選擇不同模式（先進(jìn)的脈沖IV測(cè)量和超快IV測(cè)量），最低采樣間隔為5 ns（200 MSa/s）；

4、電性失效分析量測(cè)(EFA，Electrical Failure Analysis)；

測(cè)試范圍：

CMOS 晶體管 Id-Vg、Id-Vd、Vth、擊穿、電容和 QSCV

雙極晶體管 Ic-Vc、二極管、Gummel 曲線圖、擊穿和電容等

分立器件 Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二極管等

內(nèi)存 Vth、電容、耐久性測(cè)試

功率器件 脈沖 Id-Vg、脈沖 Id-Vd、擊穿

納米器件 電阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc

可靠性測(cè)試 NBTI/PBTI、電荷泵、電遷移、熱載流子注入、斜坡電流（J-Ramp）、TDDB 等

檢測(cè)曲線圖片：

檢測(cè)設(shè)備：

檢測(cè)優(yōu)勢(shì)：

1、 電容-電壓(C-V)、電壓-電流(I-V)、電阻(R)、電容(C)、電感(L)和訊號(hào)波形(Waveform)等。為失效分析提供保障，以利后續(xù)的分析動(dòng)作。

2、 Keysight EasyEXPERT group+ 軟件是B1500A 自帶的 GUI 界面軟件，可在B1500A 的嵌入式 Windows 10 平臺(tái)上運(yùn)行，支持高效和可重復(fù)的器件表征。B1500A 擁有幾百種即時(shí)可用的測(cè)量（應(yīng)用測(cè)試），為測(cè)試執(zhí)行和分析提供了直觀和功能強(qiáng)大的操作環(huán)境。它可以幫助工程師對(duì)器件、材料、半導(dǎo)體、有源 / 無(wú)源元器件或幾乎任何其他類型的電子器件進(jìn)行精確和快速的電子表征和測(cè)試。

3、 測(cè)試范圍廣、定位精確、測(cè)試數(shù)據(jù)圖片更直觀、測(cè)試效率更高。