「芯片測試」的項目與目的是什么?
日期:2024-07-04 15:00:00 瀏覽量:693 標(biāo)簽: 芯片測試
芯片測試是芯片制造過程中,是確保芯片質(zhì)量的重要環(huán)節(jié),通過對芯片進(jìn)行全面的測試,可以發(fā)現(xiàn)并糾正制造過程中的缺陷,提高產(chǎn)品的良品率,降低生產(chǎn)成本。傳統(tǒng)意義的芯片測試分為晶圓測試(簡稱中測)和成品測試(簡稱成測)兩種,訴求都是確保終端產(chǎn)品良品率的提升。
芯片測試的流程主要分為前工序測試、后工序測試和出貨前測試三個環(huán)節(jié)。
前工序測試:在芯片制造過程中的各個工序中,對芯片的各項參數(shù)進(jìn)行檢測。這包括晶圓制備、掩模光刻、腐蝕刻蝕、擴(kuò)散、退火、化學(xué)機(jī)械拋光等多個工序。每個工序都需要對芯片進(jìn)行相應(yīng)的參數(shù)檢測,以確保芯片的質(zhì)量和性能符合要求。主要檢測項目包括晶圓表面形貌、晶體管的電學(xué)參數(shù)、MOS柵極的質(zhì)量等。
后工序測試:在芯片制造過程的最后幾個工序中,對芯片進(jìn)行的各項參數(shù)檢測。這包括膠合、切割、打磨、薄膜沉積、金屬化等多個工序。每個工序都需要對芯片進(jìn)行相應(yīng)的參數(shù)檢測,以確保芯片的質(zhì)量和性能符合要求。主要檢測項目包括金屬線寬度、金屬線間隔、金屬線層的均勻性等。
出貨前檢測:在芯片生產(chǎn)完畢后,進(jìn)行的最后一次檢測。主要是對芯片的各項參數(shù)進(jìn)行全面檢測,確保芯片的質(zhì)量和性能符合要求。主要檢測項目包括電學(xué)參數(shù)、封裝質(zhì)量、可靠性等。
對于芯片測試的相關(guān)指標(biāo),因為不同類型和功能的芯片其測試項目有所不同,因此并沒有統(tǒng)一的測試指標(biāo)。一般來說,芯片測試的指標(biāo)可能包括測試穩(wěn)定性、測試效率、缺陷覆蓋率、誤報率、漏報率等。這些指標(biāo)會根據(jù)具體的芯片類型和測試需求進(jìn)行定制和優(yōu)化。
一、測試目的
芯片測試的目的是驗證生產(chǎn)出來的芯片是否達(dá)到當(dāng)初的設(shè)計要求(spec需求),通過測試對芯片進(jìn)行篩選分類,把一些殘次品分選出來,把好的產(chǎn)品推向市場,不好的留著做后續(xù)的分析處理,以便改進(jìn)設(shè)計或加工工藝,從而提高整個芯片的良率。
二、測試流程
Wafer測試(Wafer Probe)
在晶圓(Wafer)制作完成之后,成千上萬的裸DIE(未封裝的芯片)規(guī)則的分布滿整個Wafer。由于尚未進(jìn)行劃片封裝,芯片的管腳全部裸露在外,這些極微小的管腳需要通過更細(xì)的探針(Probe)來與測試機(jī)臺(Tester)連接。在未進(jìn)行劃片封裝的整片Wafer上,通過探針將裸露的芯片與測試機(jī)連接,從而進(jìn)行的芯片測試就是CP測試。
Final測試(Final Test)
Final測試也叫封裝測試,這個階段是在芯片封裝完后進(jìn)行最終的測試,使用的機(jī)器是測試機(jī)(ATE)+分選機(jī)(Handler),通過測試的芯片會根據(jù)測試的結(jié)果對其進(jìn)行分類也就是分BIN處理。
三、測試指標(biāo)
測試穩(wěn)定性:測試系統(tǒng)能夠穩(wěn)定地進(jìn)行測試,保證測試結(jié)果的可靠性。
測試效率:測試系統(tǒng)能夠快速地完成測試,提高生產(chǎn)效率。
缺陷覆蓋率:測試系統(tǒng)能夠檢測到盡可能多的缺陷,提高產(chǎn)品的良品率。
誤報率:測試系統(tǒng)能夠準(zhǔn)確地識別合格品和缺陷品,減少誤報率。
漏報率:測試系統(tǒng)能夠?qū)⑷毕萜愤z漏的情況減少到最低,提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
四、測試內(nèi)容
功能測試:驗證芯片的功能是否符合設(shè)計要求,對芯片的各項功能進(jìn)行全面檢測。
性能測試:驗證芯片的性能是否達(dá)到設(shè)計要求,對芯片的各項性能進(jìn)行全面檢測。
可靠性和壽命測試:驗證芯片的可靠性和壽命是否符合設(shè)計要求,對芯片進(jìn)行長時間運行、高溫、低溫等惡劣條件下的測試。
封裝和外觀檢測:驗證芯片的封裝和外觀是否符合設(shè)計要求,對芯片的外觀、封裝質(zhì)量等進(jìn)行檢測。
總之,芯片測試是保證芯片質(zhì)量的重要環(huán)節(jié),通過對芯片進(jìn)行全面的測試,可以發(fā)現(xiàn)并糾正制造過程中的缺陷,提高產(chǎn)品的良品率,降低生產(chǎn)成本。同時,通過對測試數(shù)據(jù)的分析和挖掘,可以為改進(jìn)設(shè)計或加工工藝提供有力的支持,進(jìn)一步提高整個芯片的良率和性能。