失效分析
- 非破壞分析
- · 3D數(shù)碼顯微鏡 · X-Ray檢測(cè) · 超聲波掃描(SAT檢測(cè))
- 電性檢測(cè)
- · 半導(dǎo)體組件參數(shù)分析 · 電特性測(cè)試 · 點(diǎn)針信號(hào)量測(cè) · 靜電放電/過(guò)度電性應(yīng)力/閂鎖試驗(yàn)
- 失效點(diǎn)定位
- · 砷化鎵銦微光顯微鏡 · 激光束電阻異常偵測(cè) · Thermal EMMI(InSb)
- 破壞性物理分析
- · 開(kāi)蓋測(cè)試 · 芯片去層 · 切片測(cè)試
- 物性分析
- · 剖面/晶背研磨 · 離子束剖面研磨(CP) · 掃描式電子顯微鏡(SEM)
- 工程樣品封裝服務(wù)
- · 晶圓劃片 · 芯片打線/封裝
- 競(jìng)爭(zhēng)力分析
- · 芯片結(jié)構(gòu)分析
失效分析
通過(guò)專業(yè)失效分析設(shè)備,借助各種測(cè)試分析技術(shù)和分析程序確認(rèn)電子元器件的失效現(xiàn)象,分辨其失效模式和失效機(jī)理,確認(rèn)最 終的失效原因,并提出改進(jìn)設(shè)計(jì)和制造工藝的建議,防止失效的重復(fù)出現(xiàn)。
所有失效器件原因分析。
失效分析的基本概念體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
· 進(jìn)行失效分析往往需要進(jìn)行電測(cè)量并采用先進(jìn)的物理、冶金及化學(xué)的分析手段。
· 失效分析的目的是確定失效模式和失效機(jī)理,提出糾正措施,防止這種失效模式和失效機(jī)理的重復(fù)出現(xiàn)。
· 失效模式是指觀察到的失效現(xiàn)象、失效形式,如開(kāi)路、短路、參數(shù)漂移、功能失效等。
· 失效機(jī)理是指失效的物理化學(xué)過(guò)程,如疲勞、腐蝕和過(guò)應(yīng)力等。
失效分析的意義主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
· 失效分析是確定芯片失效機(jī)理的必要手段。
· 失效分析為有效的故障診斷提供了必要的信息。
· 失效分析為設(shè)計(jì)工程師不斷改進(jìn)或者修復(fù)芯片的設(shè)計(jì),使之與設(shè)計(jì)規(guī)范更加吻合提供必要的反饋信息。
· 失效分析可以評(píng)估不同測(cè)試向量的有效性,為生產(chǎn)測(cè)試提供必要的補(bǔ)充,為驗(yàn)證測(cè)試流程優(yōu)化提供必要的信息基礎(chǔ)。
失效訊息收集
外觀檢查
電特性分析
非破壞分析
失效點(diǎn)查找驗(yàn)證
破壞性分析
確認(rèn)失效真因
分析結(jié)論總結(jié)
改善建議
出具分析報(bào)告
01- 芯片開(kāi)封
去除IC封膠,同時(shí)保持芯片功能的完整無(wú)損,保持die,bondpads,bondwires乃至lead-frame不受損傷,為下一步芯片失效分析實(shí)驗(yàn)做準(zhǔn)備。
02- SEM掃描電鏡/EDX成分分析
包括材料結(jié)構(gòu)分析/缺陷觀察、元素組成常規(guī)微區(qū)分析、精確測(cè)量元器件尺寸等等。
03- 探針測(cè)試
以微探針快捷方便地獲取IC內(nèi)部電信號(hào)。
04- 鐳射切割
以微激光束切斷線路或芯片上層特定區(qū)域。
05- EMMI偵測(cè)
EMMI微光顯微鏡是一種效率極高的失效分錯(cuò)析工具,提供高靈敏度非破壞性的故障定位方式,可偵測(cè)和定位非常微弱的發(fā)光(可見(jiàn)光及近紅外光),由此捕捉各種元件缺陷或異常所產(chǎn)生的漏電流可見(jiàn)光。
06- OBIRCH應(yīng)用(鐳射光束誘發(fā)阻抗值變化測(cè)試)
OBIRCH常用于芯片內(nèi)部高阻抗及低阻抗分析,線路漏電路徑分析。利用OBIRCH方法,可以有效地對(duì)電路中缺陷定位,如線條中的空洞、通孔下的空洞。通孔底部高阻區(qū)等,也能有效的檢測(cè)短路或漏電,是發(fā)光顯微技術(shù)的有力補(bǔ)充。
07- LG液晶熱點(diǎn)偵測(cè)
利用液晶感測(cè)到IC漏電處分子排列重組,在顯微鏡下呈現(xiàn)出不同于其它區(qū)域的斑狀影像,找尋在實(shí)際分析中困擾設(shè)計(jì)人員的漏電區(qū)域(超過(guò)10mA之故障點(diǎn))。
08- 定點(diǎn)/非定點(diǎn)芯片研磨
移除植于液晶驅(qū)動(dòng)芯片Pad上的金凸塊,保持Pad完好無(wú)損,以利后續(xù)分析或rebonding。
09- X-Ray無(wú)損偵測(cè)
檢測(cè)IC封裝中的各種缺陷如層剝離、爆裂、空洞以及打線的完整性,PCB制程中可能存在的缺陷如對(duì)齊不良或橋接,開(kāi)路、短路或不正常連接的缺陷,封裝中的錫球完整性。
10- SAM(SAT)超聲波探傷
可對(duì)IC封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行非破壞性檢測(cè),有效檢出因水氣或熱能所造成的各種破壞如:o晶元面脫層,o錫球、晶元或填膠中的裂縫,o封裝材料內(nèi)部的氣孔,o各種孔洞如晶元接合面、錫球、填膠等處的孔洞。